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顯微鏡
您當(dāng)前的位置 : 產(chǎn)品展示 精密光學(xué)檢測(cè)顯微系列 晶圓/硅片檢測(cè)顯微系統(tǒng)

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上海光學(xué)儀器廠

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  • 產(chǎn)品概述
  • 性能特點(diǎn)
  • 技術(shù)參數(shù)

SG-6351硅片檢測(cè)顯微鏡(研究級(jí))

一、產(chǎn)品用途

   SG-6351硅片檢測(cè)顯微鏡,儀器采用了反射和透射兩種照明形式,并配有偏光裝置。在反射光照明下可進(jìn)行明暗場(chǎng)和偏光觀察,又可在透射光照明下作明場(chǎng)觀察。本儀器配攝影裝置與顯微鏡相連接拍攝照片等。儀器造型新穎、性能良好、使用方便可靠,可供工廠、高等院校、科研機(jī)構(gòu)及電子工業(yè)部門作金相、礦相、晶體、微電子等方面的試驗(yàn)與分析研究之用。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 穩(wěn)定、高品質(zhì)的光學(xué)系統(tǒng)使成像更清晰,襯度更好。

2. WF10X(Φ22)大視野目鏡,無限遠(yuǎn)系統(tǒng)金相物鏡。

3. 儀器采用了反射和透射兩種照明形式,并配有偏光裝置。

4. 在反射光照明下可進(jìn)行明暗場(chǎng)和偏光觀察,又可在透射光照明下作明暗場(chǎng)觀察。

5. 顯微鏡配置了成像系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)在計(jì)算機(jī)上顯示圖像并保存圖片,圖像可進(jìn)行各種處理、編輯、保存和輸出 (如打印等) 或進(jìn)入多媒體系統(tǒng)及電子信箱。

三、技術(shù)規(guī)格

1. 光學(xué)系統(tǒng):無限遠(yuǎn)光學(xué)校正系統(tǒng)

2. 大視野目鏡WF10X/22mm

3. 平場(chǎng)無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡

放大倍數(shù)

數(shù)值孔徑N.A

工作距離(mm)

L L5×

0.10

29.4

PL L10×

0.25

16.0

PL L20×

0.40

10.6

PL L50×

0.55

5.10

PL L100X(干)

0.80

3.01

4. 顯微鏡總放大倍率:50×-1000×

5. 轉(zhuǎn)換器:帶DIC插孔孔轉(zhuǎn)換器

6. 雙層移動(dòng)平臺(tái),尺寸:190×160mm,移動(dòng)范圍80×50mm

7. 調(diào)焦粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦,采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu),微動(dòng)格值0.002 mm

8. 照明光源

① 透射照明:鹵素?zé)?2V50W, AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié)

② 落射照明:帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄,鹵素?zé)?2V50W,AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié)

9. 適配鏡:直徑59mm,放大倍率0.5倍  ,內(nèi)調(diào)焦距0~3mm  調(diào)焦后可鎖緊

10. 圖像采用Sony COMS傳感器,像素630萬;芯片靶面:1/1.8";像素:2.4x2.4(μm);圖像采集速度:15@3072×2048,26@1536×1024;G光靈敏度:0.15mv-425mv;曝光時(shí)間: 0.244ms-2s;光譜響應(yīng)范圍:380-650nm(有紅外截止濾光片情況下);掃描方式:逐行掃描;快門:電子快門;數(shù)據(jù)接口:USB3.0;白平衡:ROI 白平衡/手動(dòng)調(diào)整。

11. 軟件功能:圖像顯示、圖像拍攝、錄像和圖象處理功能,可以對(duì)所攝圖像進(jìn)行文字編輯,比例尺顯示;超景深擴(kuò)展;長(zhǎng)度,角度,弧長(zhǎng)測(cè)量;點(diǎn),線,平行線,垂直測(cè)量;園、橢圓測(cè)量;矩形,不規(guī)則形狀的周長(zhǎng)、面積、重心位置等幾何參數(shù)測(cè)量。

四、標(biāo)準(zhǔn)配置

1. 正置金相顯微鏡/1臺(tái)

2. 三目觀察鏡筒/1只(在主機(jī)上)

3. 大視野目鏡10× /1對(duì)

4. 無限遠(yuǎn)金相物鏡5×、10×、20×50×、100×./1

5. 0.5×專用適配鏡/1

6. YH-630顯微鏡工業(yè)相機(jī)/1

7. 0.01mm校準(zhǔn)尺/1

8. 玻璃載物片/1

9. 備用鹵素?zé)襞?/span>/2

10. 產(chǎn)品合格證、保修卡及說明書/1

 


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