SG-863XB晶圓檢測(cè)顯微鏡(研究級(jí))
一、產(chǎn)品用途
SG-863XB正置檢測(cè)顯微鏡廣泛的應(yīng)用于透明,半透明或不透明物質(zhì),比如金屬陶瓷、電子芯片、印刷電路、LCD基板、薄膜、纖維、顆粒狀物體、鍍層等材料表面的結(jié)構(gòu)、痕跡,都能有很好的成像效果。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 采用了UIS高分辨率、長(zhǎng)工作距離無限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
2. 拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù),無限遠(yuǎn)物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法,并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。
3. 采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度。
4. WF10×/Φ25mm超大視野目鏡,長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)金相物鏡。
三、技術(shù)規(guī)格
1. 光學(xué)系統(tǒng):無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)
2. 觀察頭:30°鉸鏈?zhǔn)饺浚?0mm-75mm
3. 平場(chǎng)目鏡:WF10×/25mm
4. 平場(chǎng)無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離金相物鏡
放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑N.A | 工作距離(mm) |
PL L5× | 0.10 | 29.4 |
PL L10× | 0.25 | 16.0 |
PL L20× | 0.40 | 10.6 |
PL L50× | 0.55 | 5.10 |
PL L100×(干) | 0.80 | 3.00 |
5. 轉(zhuǎn)換器:內(nèi)定位五孔轉(zhuǎn)換器
6. 工作臺(tái)尺寸:352mm×310mm,移動(dòng)范圍:250mm×250mm
7. 調(diào)焦機(jī)構(gòu):粗微動(dòng)同軸,范圍36mm,微動(dòng)0.002mm
8. 光源:垂直照明,帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄,鹵素?zé)?2V100W,AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié)
透射光,12V100W鹵素?zé)粽彰?,亮度可調(diào)
9. 偏光裝置:檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng),起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
10. 適配鏡:直徑59mm,放大倍率0.5倍 ,內(nèi)調(diào)焦距0~3mm 調(diào)焦后可鎖緊
11. 顯微鏡工業(yè)相機(jī):圖像采用Sony COMS傳感器,像素630萬;芯片靶面:1/1.8";像素:2.4x2.4(μm);圖像采集速度:15@3072x2048,26@1536x1024;G光靈敏度:0.15mv-425mv;曝光時(shí)間: 0.244ms-2s;光譜響應(yīng)范圍:380-650nm(有紅外截止濾光片情況下);掃描方式:逐行掃描;快門:電子快門;數(shù)據(jù)接口:USB3.0;白平衡:ROI 白平衡/手動(dòng)調(diào)整.
12. 軟件功能:圖像顯示、圖像拍攝、錄像和圖象處理功能,可以對(duì)所攝圖像進(jìn)行文字編輯,比例尺顯示;超景深擴(kuò)展;長(zhǎng)度,角度,弧長(zhǎng)測(cè)量;點(diǎn),線,平行線,垂直測(cè)量;圓、橢圓測(cè)量;矩形,不規(guī)則形狀的周長(zhǎng)、面積、重心位置等幾何參數(shù)量。
四、標(biāo)準(zhǔn)配置
1. 檢測(cè)顯微鏡/1臺(tái)
2. 觀察鏡筒/1只(在主機(jī)上)
3. 10×目鏡/1對(duì)(在主機(jī)上)
4. 無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離物鏡5×、10×、20×、50×、100×/各1只(在主機(jī)上)
5. 0.5×專用適配鏡/1只
6. YH-630顯微鏡工業(yè)相機(jī)/1只(630萬)
7. 0.01mm校準(zhǔn)尺/1片
8. 移動(dòng)工作臺(tái)/1只(在主機(jī)上)
9. 12V100W鹵素?zé)?/span>/2只
10. 插板式濾色片(綠、蘭、中性)/1組
11. 產(chǎn)品合格證、保修卡及說明書/1份
上海光學(xué)儀器廠是國內(nèi)較早成立大型綜合類光學(xué)儀器的生產(chǎn)企業(yè),以顯微鏡、光學(xué)儀器、測(cè)量工具顯微鏡、生物顯微鏡、測(cè)量投影儀、影像測(cè)量?jī)x、工具顯微鏡、分光光度計(jì)、折射儀等見長(zhǎng),在國內(nèi)久負(fù)盛名。上海顯微鏡企業(yè)全面改制后,開發(fā)了與電腦……
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